Ebenheitsmessung von großen Ringen und Flächen durch die Erweiterung des TOPOS 100 mit einem Dreh- oder Kreuztisch

Die TOPOS Interferometer arbeiten völlig berührungslos. Dies ist die Voraussetzung für eine Messung mit einem Dreh- oder Kreuztisch. Eine Begrenzung der messbaren Teilegröße auf das Messfeld des Interferometers besteht nicht mehr. Bei den Verfahren mit Kreuz- oder Drehtisch läuft der gesamte Messablauf vollautomatisch ab. Dabei ergibt sich die Anzahl der Einzelmessungen aus der Größe des Teils. Der Bediener sieht nach der Messung aller Teilbereiche, die Ebenheit des gesamten Teils wie bei einer Einzelmessung.

Bei der Messung von großen Ringen werden Ringsegmente mit einer Überlappung gemessen. Diese werden dann rechnerisch zum Gesamtring zusammengesetzt. Die Drehung unter dem Messfeld des TOPOS 100 erfolgt durch einen motorbetriebenen Präzisionsdrehtisch. Dabei können Ringe mit einem Außendurchmesser von bis zu 420mm bei einer Ringbreite von 80mm gemessen werden. Bei größeren Ringbreiten und großen Flächen wird mit einem Kreuztisch gemessen.

Der Prüfling wird mit einem motorbetriebenen Präzisionskreuztisch unter dem Messfeld verschoben, sodass jeder Bereich des Teils mit einer Überlappung gemessen wird. Die Bereiche werden rechnerisch zur Gesamtfläche zusammengesetzt.

Speziell bei der Erweiterung mit einem Dreh- oder Kreuztisch wird auf die Kundenanforderungen in Hinblick auf die Teilehalterung eingegangen.

Hat sich das Teilespektrum hin zu größeren Teilen erweitert, kann das TOPOS 100 Interferometer mit einem Dreh- oder Kreuztisch nachgerüstet werden und damit der Messbereich der Maßanforderung angepasst werden.